雪花清洗（液態(tài)二氧化碳清洗）是一種干式清洗方式，利用液態(tài)二氧化碳的特性和性能進(jìn)行半導(dǎo)體零部件表面處理。在常壓下，二氧化碳是一種氣體，但在恒定壓力下冷卻并且達(dá)到臨界溫度時(shí)，會(huì)變成無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、非易燃的液體。因此，液態(tài)二氧化碳清洗可以替代傳統(tǒng)的有機(jī)溶劑清洗，因?yàn)樗粫?huì)殘留任何有機(jī)化合物或其他污染物，并且可以更加高效地去除各種表面污垢和雜物。
